Erne, RobinSekler, JörgBerta, Marco2018-05-042018-05-042017http://hdl.handle.net/11654/26289https://doi.org/10.26041/fhnw-1378Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.de-CHRegelungstechnikNanolithographie05 - Forschungs- oder Arbeitsbericht