Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern

dc.contributor.authorTreyer, Daniel
dc.contributor.mentorAms, Alfons
dc.contributor.mentorGaulocher, Sebastian
dc.date.accessioned2024-01-11T13:32:22Z
dc.date.available2024-01-11T13:32:22Z
dc.date.issued2020
dc.description.urihttps://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:105-qucosa2-724291
dc.identifier.isbn978-3-86012-640-0
dc.identifier.urihttps://irf.fhnw.ch/handle/11654/39512
dc.language.isode
dc.publisherTechnische Universität Bergakademie Freiberg
dc.relation.ispartofseriesBerichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik
dc.spatialFreiberg
dc.subject.ddc620 - Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
dc.titleModellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern
dc.type11 - Studentische Arbeit
dspace.entity.typePublication
fhnw.InventedHereYes
fhnw.ReviewTypeLectoring (ex ante)
fhnw.StudentsWorkTypeDissertation
fhnw.affiliation.hochschuleHochschule für Technik und Umwelt FHNWde_CH
fhnw.affiliation.institutInstitut für Automationde_CH
fhnw.publicationStatePublished
fhnw.seriesNumber35
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relation.isMentorOfPublication2e9ba3d1-a4bf-4321-9bd3-272b078d0674
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