NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger
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Authors
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Publication date
2017
Typ of student thesis
Course of study
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05 - Research report or working paper
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Series
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Volume
Issue / Number
Pages / Duration
Patent number
Publisher / Publishing institution
Hochschule für Technik FHNW
Place of publication / Event location
Windisch
Edition
Version
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Assignee
Practice partner / Client
Abstract
Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.
Keywords
Regelungstechnik, Nanolithographie
Subject (DDC)
Event
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ISBN
ISSN
Language
German
Created during FHNW affiliation
Yes
Strategic action fields FHNW
Publication status
Published
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No peer review
Open access category
License
Citation
Erne, R., Sekler, J., & Berta, M. (2017). NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger. Hochschule für Technik FHNW. https://doi.org/10.26041/fhnw-1378