NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger
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Autor:innen
Autor:in (Körperschaft)
Publikationsdatum
2017
Typ der Arbeit
Studiengang
Sammlung
Typ
05 - Forschungs- oder Arbeitsbericht
Herausgeber:innen
Herausgeber:in (Körperschaft)
Betreuer:in
Übergeordnetes Werk
Themenheft
DOI der Originalpublikation
Reihe / Serie
Reihennummer
Jahrgang / Band
Ausgabe / Nummer
Seiten / Dauer
Patentnummer
Verlag / Herausgebende Institution
Hochschule für Technik FHNW
Verlagsort / Veranstaltungsort
Windisch
Auflage
Version
Programmiersprache
Abtretungsempfänger:in
Praxispartner:in/Auftraggeber:in
Zusammenfassung
Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.
Schlagwörter
Regelungstechnik, Nanolithographie
Fachgebiet (DDC)
Veranstaltung
Startdatum der Ausstellung
Enddatum der Ausstellung
Startdatum der Konferenz
Enddatum der Konferenz
Datum der letzten Prüfung
ISBN
ISSN
Sprache
Deutsch
Während FHNW Zugehörigkeit erstellt
Ja
Zukunftsfelder FHNW
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Begutachtung
Keine Begutachtung
Open Access-Status
Lizenz
Zitation
Erne, R., Sekler, J., & Berta, M. (2017). NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger. Hochschule für Technik FHNW. https://doi.org/10.26041/fhnw-1378