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NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger

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Taeber_NanoFrazor Scholar.pdf (162.4Kb)
Autor/Autorin
Erne, Robin
Sekler, Jörg
Berta, Marco
Datum
2017
Metadata
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Type
05 - Forschungs- oder Arbeitsbericht
Zusammenfassung
Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.
Link
http://www.fhnw.ch/ia
URI
http://hdl.handle.net/11654/26289
http://dx.doi.org/10.26041/fhnw-1378
Verlag / Hrsg. Institution
Hochschule für Technik FHNW
Verlagsort / Veranstaltungsort
Windisch
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