Sekler, Jörg
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2017, Erne, Robin, Sekler, Jörg, Berta, Marco
Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.