Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern
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Autor:innen
Autor:in (Körperschaft)
Publikationsdatum
2020
Typ der Arbeit
Dissertation
Studiengang
Sammlung
Typ
11 - Studentische Arbeit
Herausgeber:innen
Herausgeber:in (Körperschaft)
Betreuer:in
Ams, Alfons
Übergeordnetes Werk
Themenheft
DOI der Originalpublikation
Reihe / Serie
Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik
Reihennummer
35
Jahrgang / Band
Ausgabe / Nummer
Seiten / Dauer
Patentnummer
Verlag / Herausgebende Institution
Technische Universität Bergakademie Freiberg
Verlagsort / Veranstaltungsort
Freiberg
Auflage
Version
Programmiersprache
Abtretungsempfänger:in
Praxispartner:in/Auftraggeber:in
Schlagwörter
Fachgebiet (DDC)
620 - Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Veranstaltung
Startdatum der Ausstellung
Enddatum der Ausstellung
Startdatum der Konferenz
Enddatum der Konferenz
Datum der letzten Prüfung
ISBN
978-3-86012-640-0
ISSN
Sprache
Deutsch
Während FHNW Zugehörigkeit erstellt
Ja
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Begutachtung
Fachlektorat/Editorial Review
Open Access-Status
Lizenz
Zitation
TREYER, Daniel, 2020. Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern. Freiberg: Technische Universität Bergakademie Freiberg. Verfügbar unter: https://irf.fhnw.ch/handle/11654/39512