Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern

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Author (Corporation)
Publication date
2020
Typ of student thesis
Dissertation
Course of study
Type
11 - Student thesis
Editors
Editor (Corporation)
Supervisor
Parent work
Special issue
DOI of the original publication
Series
Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik
Series number
35
Volume
Issue / Number
Pages / Duration
Patent number
Publisher / Publishing institution
Technische Universität Bergakademie Freiberg
Place of publication / Event location
Freiberg
Edition
Version
Programming language
Assignee
Practice partner / Client
Keywords
Subject (DDC)
620 - Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Project
Event
Exhibition start date
Exhibition end date
Conference start date
Conference end date
Date of the last check
ISBN
978-3-86012-640-0
ISSN
Language
German
Created during FHNW affiliation
Yes
Strategic action fields FHNW
Publication status
Published
Review
Expert editing/editorial review
Open access category
License
Citation
TREYER, Daniel, 2020. Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern. Freiberg: Technische Universität Bergakademie Freiberg. Verfügbar unter: https://irf.fhnw.ch/handle/11654/39512