NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger
| dc.accessRights | Anonymous | |
| dc.audience | Praxis | |
| dc.contributor.author | Erne, Robin | |
| dc.contributor.author | Sekler, Jörg | |
| dc.contributor.author | Berta, Marco | |
| dc.date.accessioned | 2018-05-04T05:38:36Z | |
| dc.date.available | 2018-05-04T05:38:36Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.description.abstract | Im Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert. | |
| dc.description.uri | http://www.fhnw.ch/ia | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11654/26289 | |
| dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.26041/fhnw-1378 | |
| dc.language.iso | de_CH | |
| dc.publisher | Hochschule für Technik FHNW | |
| dc.spatial | Windisch | |
| dc.subject | Regelungstechnik | |
| dc.subject | Nanolithographie | |
| dc.title | NanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger | |
| dc.type | 05 - Forschungs- oder Arbeitsbericht | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| fhnw.InventedHere | Yes | |
| fhnw.IsStudentsWork | no | |
| fhnw.PublishedSwitzerland | Yes | |
| fhnw.ReviewType | No peer review | |
| fhnw.affiliation.hochschule | Hochschule für Technik | de_CH |
| fhnw.affiliation.institut | Institut für Automation | de_CH |
| fhnw.publicationState | Published | |
| relation.isAuthorOfPublication | bd436a10-2b13-48c2-9c54-7089e58bd2c2 | |
| relation.isAuthorOfPublication.latestForDiscovery | bd436a10-2b13-48c2-9c54-7089e58bd2c2 |
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