Institut für Automation
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Auflistung Institut für Automation nach Autor:in "Erne, Robin"
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- PublikationNanoFrazor Scholar – hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie Einsteiger(Hochschule für Technik FHNW, 2017) Erne, Robin; Sekler, Jörg; Berta, MarcoIm Rahmen eines KTI-Projektes wird zusammen mit der Firma SwissLitho ein neues Instrument zur Nanometer-genauen Oberflächenbearbeitung entwickelt. Die Neuentwicklung soll den Zugang zu einem erweiterten Markt und zu einzelnen Forschungsgruppen ermöglichen. Zudem werden die bereits bestehenden, grösseren Systeme durch die neuen Erkenntnisse verbessert.05 - Forschungs- oder Arbeitsbericht